品質・不良対策– tag –

レジストのスピン塗布では、ウェハの外周に膜が盛り上がったり、塗布液が裏面へ回り込んだりすることがあります。エッジリンスは主に端部、バックリンスは裏面の不要なレジストを除く処理です。対象となる場所が異なるため、両者の目的と確認方法を分けて...