検査・解析・歩留まり– category –

半導体製造の歩留まりは、定めた工程・検査で評価した数量のうち、合格基準を満たした数量の割合です。材料をどれだけ再利用できるかという資源利用率とは異なります。分母と検査段階をそろえ、数値の計算から改善の判断までを説明します。 歩留まりは合格...

PVC法は、SEMで電位コントラストを観察し、故障候補を絞り込む解析手法です。PVCはPassive Voltage Contrastの略で、電子線を当てた試料の帯電状態が画像の明暗に現れることを利用します。半導体の配線やコンタクトの導通状態を比較する方法であり、発熱を...